ウェハエッジ形状測定装置

EZシリーズ

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特長
用途

EZシリーズ

ウェハ外周部の歩留定量管理とプロセス異常の解析用途に

特長

コンフォーカル光学系による高コントラスト画像を用いた欠陥検査
独自のアルゴリズムによる凹凸判定を含めた自動欠陥分類
欠陥種の特定・推測が容易となる、高解像度3D測定機能

用途

インラインQCによるウェハ外周部の定量管理および異常プロセス発生時の早期アラーム
SPC（Statistical Process Control）によるウェハ外周部の不良チップ発生時の後追い解析
ウェハ外周部の欠陥による、歩留まり悪化原因の把握・解析

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