位相差/透過率測定装置
MPM193EX
フォトマスクの洗浄・ペリクル貼り付け後に位相差・透過率測定が可能に
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特長
- 業界標準機となったMPM193位相差測定装置の後継機として、測定性能を大幅に向上させました。
- ペリクル付きマスクの測定が可能です。
- 従来モデルと比べ自動検査機能が大きく改善されています。
- 1μm以下の微小領域での位相差測定を可能としました。
- オートローダーおよびケミカルフィルター付きミニエンバイロメントを標準装備します。
用途
- 位相シフトマスクの位相差測定
- ハーフトーン型位相シフトマスクの透過率測定
- マスク欠陥レビュー（オプション）
仕様
| 測定波長 | 193nm |
|---|---|
| 測定再現性 | 位相差測定：0.2°（3σ）、透過率測定：0.04% （3σ） |
| 基板サイズ | 6025 |
