マスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
MAGICSシリーズ M6640S/M6641S
高感度・高スループットを両立したマスクブランクス欠陥検査/レビュー装置
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特長
- 高品質マスクブランクス検査に有効な高検出感度と、量産工場での出荷・受入検査に適した高スループットを両立した欠陥検査装置
- 既にマスクブランクス検査の業界標準機となっているMAGICSの基幹技術であるコンフォーカル光学系を採用した63本のマルチビームスキャン方式をベースに、微小欠陥に特化した新欠陥検出回路を搭載
- MoSi膜やCr膜上のピンホール欠陥の感度を飛躍的に向上させ、より高品質なブランクスの選別が可能
- M6641Sは、Dense Scan Mode (より高感度な検査モード)とLine & Spaceのパターン検査に対応した製品で、マスクショップでの各種プロセス管理に有効
- カセットは、ブランクスメーカー向け多段カセットから、マスクショップ向けRSP、MRPなどに対応が可能
用途
- Qzサブストレート、Cr膜、MoSi膜、ハーフトーン膜、レジスト塗布済みマスクブランクスの検査
- 欠陥のレビュー
仕様
検査光源波長 | 532nm |
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検出感度 | φ50nm(クォーツ基板上のPSL、ノーマルモード) |
検査時間 | 12分/枚(ノーマルモード、検査エリア142mm×142mm) |
対応基板サイズ | 6025 |